The-Funktion:   Die Funktion des Systems zur chemischen Gasphasenabscheidung besteht darin, dünne Filme auf dem Substrat abzuscheiden, die Materialeigenschaften zu verbessern, funktionelle Geräte herzustellen, eine Oberflächenmodifizierung zu erreichen, die Dicke der dünnen Filme präzise zu steuern, die Produktqualität zu verbessern und die Forschung und Entwicklung zu unterstützen Verwendung neuer Materialien und zur Verwendung bei der Herstellung integrierter Schaltkreise usw. mit den Vorteilen einer hohen Prozesskontrollierbarkeit, der Möglichkeit einer Produktion in großem Maßstab und möglicherweise geringerer Kosten.