Die Hochvakuumpumpstation VEAT-001 ist eine vollautomatische Vakuumanlage für die Halbleiterfertigung, die Verpackung von Luft- und Raumfahrtkomponenten, die optoelektronische Materialverarbeitung und weitere Bereiche. Sie unterstützt 6–20 synchrone Vakuumstationen und erreicht einen maximalen Vakuumgrad von 6,7 × 10⁻⁴ Pa. Sie verfügt über ein dreistufiges System aus ölfreier Molekularpumpe und mechanischer Pumpe, das den Normen IEC 60255 und ISO 9001 entspricht.