Die Diffusionspumpeneinheit VEAT-002 ist für Vakuumröhrenöfen, Präzisionslaborgeräte und kleine geschlossene Behälter konzipiert. Sie ist mit einer Diffusionspumpe mit einem Hauptsaugvermögen von 280 l/s und einer Drehschieberpumpe mit einer Leistung von 3 l/s ausgestattet. Der Endvakuumgrad erreicht 2,5 × 10⁻⁴ Pa und ermöglicht die flexible Umschaltung der KF40/KF25-Doppelauslassöffnungen. Sie verfügt über eine Ölnebelfilterung, einen Wassertemperaturalarm und einen automatischen Abschaltschutz und entspricht den Normen ISO 9001 und IEC 60255.

Die Hochvakuumpumpstation VEAT-001 ist eine vollautomatische Vakuumanlage für die Halbleiterfertigung, die Verpackung von Luft- und Raumfahrtkomponenten, die optoelektronische Materialverarbeitung und weitere Bereiche. Sie unterstützt 6–20 synchrone Vakuumstationen und erreicht einen maximalen Vakuumgrad von 6,7 × 10⁻⁴ Pa. Sie verfügt über ein dreistufiges System aus ölfreier Molekularpumpe und mechanischer Pumpe, das den Normen IEC 60255 und ISO 9001 entspricht.