Kontinuierliche Beschichtungsproduktionslinie

Produktmerkmale:

• Großflächige Beschichtung, mehrere Kammern und mehrere Zielpositionen, mit großer Flexibilität;
• Magnetisch geführtes Übertragungssystem, reibungslos und zuverlässig;
• Vor dem Beschichten gibt es eine Ionenquelle, die die Oberfläche des Substrats reinigt und aktiviert, um die Haftung zu erhöhen und die Qualität der Filmschicht zu verbessern.
• Die Vakuumkammer ist mit Polycold ausgestattet, um Wasserdampf aufzufangen, was die Pumpkapazität erhöht;
• Seitlich montierte Molekularpumpen, die einfach zu warten sind und die Vakuumkammertüren vollständig öffnen können;
• Eigenentwickelte komfortable, benutzerfreundliche Bediensoftware;
• Der Einsatz des Werkstückträger-Identifikationssystems macht die Prozessqualität nachvollziehbar;
• Der modulare Aufbau der Vakuumkammer, die Positionierung an einem Punkt und die einfache Montage und Demontage.

Anwendungsbereich:
LOW-E-, elektrochrome und andere Bauglasindustrien. CIGS, Cadmiumtellurid, kristallines Silizium und andere neue Energieindustrien. Flachbildschirme, Touchpanels, Vorder- und Rückseiten von Mobiltelefonen und anderen Branchen der Unterhaltungselektronik.