Intelligente CNC-Vakuumeinheit, 30 l/s Pumpleistung, 5×10⁻¹Pa Endvakuum

Intelligente CNC-Vakuumeinheit, 30 l/s Pumpleistung, 5×10⁻¹Pa Endvakuum

Produkteinführung

VET-001 verwendet eine Doppelpumpen-Kombinationstechnologie und ein intelligentes Steuerungssystem, um eine effiziente und stabile Vakuumleistung zu erzielen:

▎Hocheffizientes Vakuumpumpsystem

Doppelpumpen-Verbindungsdesign: Rootspumpe (30 l/s Rate) und Drehschieberpumpe (8 l/s Rate) laufen in Reihe, mit einem maximalen Vakuum von 5 × 10⁻¹Pa, was 40 % effizienter ist als ein Einzelpumpensystem und den anspruchsvollen Szenarien mit Vakuumanforderungen von ≤ 10⁻¹Pa (wie Elektronenstrahlschweißen und Vakuumwärmebehandlung) gerecht wird.

Energiesparmodus: Die Vakuumlast wird intelligent beurteilt, nur die Drehschieberpumpe läuft im Niedervakuumstadium und die Rootspumpe wird automatisch im Hochvakuumstadium gestartet, wodurch der Energieverbrauch im Vergleich zu herkömmlichen Geräten um 35 % gesenkt wird.

▎Intelligentes CNC-System

Mensch-Computer-Interaktion: Der 7-Zoll-Touchscreen von Weilun/Omron (Schalter für Chinesisch und Englisch) zeigt 12 Parameter wie Vakuum, Pumprate, Öltemperatur usw. in Echtzeit an und unterstützt die Kurvenverfolgung historischer Daten (Speicherdauer ≥ 30 Tage).

Automatische Steuerung: Ausgestattet mit einem Werkstückanschlusssensor startet das System automatisch innerhalb von 0,5 Sekunden nach Erkennung der Last, lässt den Druck automatisch ab und stoppt nach Abschluss des Tests; unterstützt benutzerdefinierte Programmvoreinstellungen (wie segmentiertes Staubsaugen und Einstellungen für die Druckhaltezeit).

▎Mehrere Sicherheitsvorkehrungen

Elektrischer Schutz: Phasenausfallerkennung (Reaktionszeit < 0,1 Sekunden), Motorüberlastungsschutz (automatische Abschaltung bei 1,2-fachem Nennstrom), Warnung vor Überhitzung der Öltemperatur der Vakuumpumpe (> 70℃ Alarm).

Mechanischer Schutz: Die Rootspumpe verfügt über ein eingebautes Rückschlagventil, das das System beim Herunterfahren automatisch isoliert, um zu verhindern, dass Öldämpfe die Vakuumkammer verunreinigen. Der vollständig geschlossene Edelstahlrahmen (Schutzart IP54) ist staub- und spritzwassergeschützt.

▎Flexible Erweiterungsmöglichkeiten

Kommunikationsschnittstelle: Die RS485/Modbus TCP-Schnittstelle ist für die Unterstützung der Andockung von SPS- und SCADA-Systemen reserviert, um eine Fernüberwachung zu ermöglichen (z. B. Vakuumwarnung in Echtzeit und Fernfehlerdiagnose).

Rohrleitungskonfiguration: 2 DN16-Vakuumleitungen sind Standard (erweiterbar auf 4), geeignet für die KF/QF-Flanschschnittstelle und kompatibel mit dem Schnellanschluss von Vakuumkammern unterschiedlicher Spezifikationen.

Produkteigenschaften

• Kombination aus Rootspumpe und Drehschieberpumpe, 30 l/s Pumprate, 5 × 10⁻¹ Pa Endvakuum, geeignet für die Anforderungen an Hochvakuum und hohe Pumpgeschwindigkeit
• Touchscreen + vollautomatische SPS-Steuerung, unterstützt 10 Sätze benutzerdefinierter Programmspeicher, Effizienz der Parametereinstellung um 60 % gesteigert
• Dreifacher elektrischer Schutz gegen Phasenverlust/Überlastung/Öltemperatur, mechanisches Design gegen Ölrückfluss, um 7×24 Stunden Dauerbetriebssicherheit zu gewährleisten
• Kompatibel mit dem Modbus-Protokoll, kann an das MES-System der Fabrik angeschlossen werden, um Cluster-Management und Datenrückverfolgbarkeit von Vakuumgeräten zu erreichen
• 2-Wege-erweiterbare Vakuumleitung, unterstützt DN16-DN50-Flanschschnittstelle, kompatibel mit Halbleiter-, Labor- und anderen Multi-Szenario-Geräten

Internationaler Referenzstandard

• ISO 3668:2017 „Verfahren zur Messung der Leistung von Vakuumpumpen“ (Absatz 5 Pumpleistung; Abschnitt 6 Enddruck).
• GB/T 16530-2020 „Roots-Vakuumpumpe“ (Abschnitt 5.1 Geräuschgrenze; ​​Abschnitt 5.2 Schwingungsamplitude).
• IEC 60204-1:2018 „Elektrische Sicherheit von Maschinen – Elektrische Ausrüstung“ (Abschnitt 8 Steuerstromkreis; Abschnitt 12 Überlastschutz).
• ATEX 2014/34/EU „Explosionsschutzrichtlinie“ (Gilt für kundenspezifische Modelle für entzündbare und explosive Umgebungen)

Technische Parameter

Prüfobjekte und Inspektionsgegenstände

Testobjekte:

• Vakuumbeschichtungsgeräte (wie Magnetron-Sputterkammern), Geräte zur Herstellung von Halbleiterwafern (Vakuumkammer zur Fotolackbeschichtung), Vakuumtrockenofen/Destillationsgerät für Labore, Vakuumverpackungsmaschinen, Vakuumgefriergeräte.

Prüfgegenstände:

• Vakuumleistung: Pumprate (30 m³/h bei Standardatmosphärendruck), endgültiger Vakuumgrad (5 × 10⁻¹Pa), Druckanstiegsrate (≤ 5 Pa/min).
• Systemkompatibilität: synchrone Vakuumiereffizienz mehrerer Rohrleitungen, Leckagerate der Flanschschnittstelle (Helium-Massenspektrometrie-Erkennung ≤1×10⁻⁹Pa・m³/s).
• Langzeitstabilität: Vakuumgradschwankung (≤±5 %) nach 8 Stunden Dauerbetrieb, Temperaturanstieg der Rootspumpe (≤20 °C).
• Energieeinsparung: Leerlaufstromverbrauch (≤ 1,5 kW), Laststromverbrauchskurve (Vakuumgrad-Leistungs-Verhältnis).
• Sicherheitsleistung: elektrischer Isolationswiderstand (≥10 MΩ), Erdungskontinuität (≤0,1 Ω), Reaktionszeit für Notabschaltung (≤2 Sekunden).