Roots-Vakuumpumpe Veat-003 1200 M³/H & Endvakuum 0,05 Pa Vakuumtechnik-Anwendung Testlösung

Roots-Vakuumpumpe Veat-003 1200 M³/H & Endvakuum 0,05 Pa Vakuumtechnik-Anwendung Testlösung

Produkteinführung

• VEAT-003 nutzt die Technologie der synchronen Doppelrotor-Gegenrotation, kombiniert mit einem Frequenzumrichter und einem optimierten Rotorgeometrie-Design. Dies verbessert die Saugleistung deutlich und verkürzt die Saugzeit um 20 %. Die intelligente Schnittstelle unterstützt die Zustandsüberwachung in Echtzeit (Condition Monitoring), ist für die vertikale/horizontale Installation geeignet und eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungsszenarien von Grobvakuum bis Feinvakuum (Luftdruck bis 10⁻³ hPa), wie z. B. Elektronenstrahlschweißen, Vakuumöfen, Gefriertrocknung und die Verarbeitung von Halbleiterwafern.

Produkteigenschaften

• Hohe Effizienz und Energieeinsparung: IE4-Hocheffizienzmotor und leichtes Rotordesign, der Energieverbrauch wird um 50 % und die Wärmeentwicklung um 30 % reduziert.
• Intelligente Steuerung: Integrierter Wechselrichter und IoT-Schnittstelle, unterstützt Fernüberwachung und adaptive Anpassung der Arbeitsbedingungen, verbessert die Systemverfügbarkeit.
• Geringe Wartungskosten: ölfreies Design + dynamische Dichtungsoptimierung, Wartungszyklus bis zu 4 Jahre, Leckagerate so niedrig wie 1×10⁻⁶ Pa·m³/s.
• Hohe Zuverlässigkeit: Rotor aus Gusseisen und Präzisionsgetriebesystem, korrosionsbeständige Materialien sind optional, geeignet für raue Industrieumgebungen.
• Leise und umweltfreundlich: Geräusch ≤63 dB(A), entspricht den ISO-Lärmnormen, geeignet für medizinische und Laborszenarien.

Internationale Referenzstandards

• ISO 21360: Leistungstestspezifikation für Vakuumpumpen.
• SEMI S2/S8: Sicherheits- und Umweltstandards für Halbleiterausrüstung.
• DIN ISO 9001: Zertifizierung des Qualitätsmanagementsystems.
• ANSI/UL 1203: Normen für Explosionsschutz und elektrische Sicherheit.
• IEC 60034-30: Energieeffizienzklasse des Motors (IE4).

Produktverwendungen

• Halbleiterfertigung: Waferbeschichtung, Vakuumschweißen, Plasmareinigung.
• Medizinische Geräte: Gefriertrocknung, aseptische Verpackung, Vakuumsterilisation.
• Umweltschutztechnik: Abgasbehandlung, Vakuumdestillation, Abwasserentgasung.
• Lebensmittelindustrie: Vakuumverpackung, Materialtransport, Sauerstoffentfernung und Konservierung.
• Wissenschaftliche Forschungsexperimente: Hochvakuumsimulation, Windkanaltests, Materialanalyse.

Prüfobjekte und Prüflinge

Testobjekte:

• Halbleiterwafer, elektronische Bauteile, Vakuumofenkammern
• Medizinische Verpackungsmaterialien, Behälter für die Lebensmittelverarbeitung, umweltfreundliche Reaktoren

Prüflinge:

• Vakuumstabilität (unter 0,05 Pa)
• Überprüfung der Leckrate (≤1×10⁻⁶ Pa·m³/s)
• Druckfestigkeit (maximal 10⁴ Pa Druckdifferenz)
• Energieeffizienz (IE4-Standard-Verifizierung)
• Lärm und Vibration (konform mit ISO 3744)

Technische Parameter