Dreiwege-Rohr-Hochvakuum-Molekularpumpeneinheit Iso3666 Molekularpumpenrate 600 l/s Enddruck ≤ 1,5 × 10⁻⁵Pa

Dreiwege-Rohr-Hochvakuum-Molekularpumpeneinheit Iso3666 Molekularpumpenrate 600 l/s Enddruck ≤ 1,5 × 10⁻⁵Pa

Produkteinführung

Als Kerngerät für Vakuumtechnik und Hochtemperaturverarbeitung durchbricht der VET-004 die traditionelle Beschränkung auf Einzelstationen und verfügt über ein dreifach paralleles Design: Jeder Rohrofen hat einen Durchmesser von φ120 mm und kann unabhängig temperiert werden (Raumtemperatur: 1200 °C). Er ist mit einer 600-l/s-Molekularpumpe und einer 9-l/s-Drehschieberpumpe ausgestattet, um innerhalb von 30 Minuten ein schnelles Vakuum von atmosphärischem Druck auf 10⁻⁵Pa aufzubauen. Das Gerät unterstützt die Echtzeitüberwachung mehrerer Parameter wie Vakuumgrad, Temperatur und Gasfluss und verfügt über ein integriertes intelligentes Verbindungssystem. Unterschreitet der Vakuumgrad den Grenzwert, wird automatisch ein Schutzmechanismus aktiviert, um die Stabilität und Wiederholbarkeit von Materialreaktionen in Hochtemperaturumgebungen zu gewährleisten. Er ist die ideale Wahl für Universitätslabore, Forschungs- und Entwicklungszentren von Unternehmen und Produktionslinien in der Präzisionsfertigung.

Produkteigenschaften

Dreiwege-Parallelverarbeitung: Steuern Sie Dreiwege-Rohröfen unabhängig voneinander, unterstützen Sie den gleichzeitigen Betrieb von Prozessen mit unterschiedlichen Temperaturen und Vakuumgraden und steigern Sie die Effizienz um 300 %.

Ultrahochvakuumleistung: Molekularpumpe + Drehschieberpumpe kombinierter Auspuff, Enddruck ≤1,5×10⁻⁵Pa, erfüllt die strengen Vakuumanforderungen für Dünnschichtabscheidung, Kristallwachstum usw.

Präzise Temperaturregelung: Jeder Rohrofen ist mit einem intelligenten PID-Temperaturregler mit einer Temperaturregelgenauigkeit von ±1 °C ausgestattet und unterstützt die freie Einstellung der Heizrate von 0–20 °C/min.

Modularer Aufbau: Die Molekularpumpe und die Drehschieberpumpe können zur Wartung zerlegt werden und das Rohrofenrohr ermöglicht einen schnellen Austausch, wodurch Ausfallzeiten und Wartungskosten reduziert werden.

Sicherheitsschutzsystem: Überlastungsalarm bei hohen Temperaturen, Abschaltung der Vakuumleckage-Verriegelung und Verbrühungsschutzdesign des Ofenmantels zur Gewährleistung der Betriebssicherheit.

Anpassung an mehrere Gasquellen: 3-Wege-Lufteinlassschnittstelle ist reserviert (unterstützt Argon, Stickstoff, Wasserstoff usw.), kompatibel mit MFC-Massendurchflussmesser zur genauen Steuerung des Gasflusses.

Internationaler Referenzstandard

ISO 3666:2015 „Vakuumtechnik – Vakuummessgeräte – Leistungsparameter und Kalibrierverfahren“: Die Präzisionskalibrierung von Vakuumsensoren entspricht internationalen Standards, um die Zuverlässigkeit der Druckdaten zu gewährleisten.

ASTM E2149-13 „Testmethode für die Ausgasungsrate von Materialien unter dynamischen Vakuumbedingungen“: Unterstützt die Funktion zur Erkennung der Materialausgasungsrate und erfüllt die Testanforderungen für die Vakuumkompatibilität von Luft- und Raumfahrtmaterialien.

IEC 61010-1:2010 „Sicherheitsanforderungen für elektrische Geräte zur Messung, Steuerung und Labornutzung“: Das elektrische System hat die Zertifizierung für Überlastschutz und Erdschlusserkennung bestanden und entspricht den Sicherheitsvorschriften für Labore.

GB/T 16800-2012 „Vakuumtechnologie – Ultrahochvakuumflansch“: Die Rohrleitungsschnittstelle verwendet einen Ultrahochvakuumflansch vom Typ CF35 und die Dichtungsleistung erreicht eine Leckrate von 10⁻⁹Pa・m³/s.

Produktverwendung

Materialwissenschaftliche Forschung: Wachstum von Kohlenstoffnanoröhren, Abscheidung von Graphenfilmen, Vakuumglühen von Metalllegierungen

Halbleiterfertigung: Vakuumtrocknung auf Waferebene, Entgasung von LED-Chips vor der Verpackung

Neues Energiefeld: Sintern von Elektrodenmaterial für Lithiumbatterien, Vakuumsynthese von Elektrolyten für Festkörperbatterien

Analyse und Prüfung: Bewertung der Katalysatoraktivität (Gasadsorptions-/Desorptionstest unter Vakuumumgebung)

Universitäten und Forschungseinrichtungen: Mehrstations-Vergleichsexperiment, Hochtemperatur-Vakuum-Umgebungssimulationslehre

Technische Parameter

Prüfobjekte und Prüflinge

Testobjekte

Rohrofenauskleidung und Dichtungskomponenten

Halbleiterwafer, Photovoltaik-Siliziumwafer, Keramiksubstrate

Nanopulvermaterialien (wie Graphenoxid, Metallorganische Gerüstverbindungen (MOFs))

Hochtemperaturlegierungsproben, Proben aus supraleitendem Material

Prüflinge

Vakuumaufbauzeit: Erforderliche Zeit zum Pumpen vom atmosphärischen Druck auf 10⁻³Pa/10⁻⁵Pa

Temperaturgleichmäßigkeit: axiale Temperaturverteilung des Rohrofens (innerhalb von ±5 °C ist qualifiziert)

Materialentgasungsrate: Entgasungsvolumen pro Flächeneinheit der Probe in einer Hochtemperatur-Vakuumumgebung

Dichtungszuverlässigkeit: Leckrate an der CF-Flanschverbindung (≤1×10⁻⁹Pa・m³/s)

Effizienz von Molekularpumpen: Test der Pumpratenstabilität in verschiedenen Vakuumbereichen (Nieder-/Hochvakuumbereich)